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Cutting Fluid Recovery Equipment
Cutting Fluid Recovery Equipment

切削液回收设备

核心系统优势

环境和成本效益:总装机容量300GW,90%以上纯水和99%硅粉可回收,有效降低制造成本,减少废水排放,提高晶圆切片工艺效率。

模块化设计:采用集装箱式模块化结构,运输、快速组装、调试更轻松。

高效部署:综合控制中心支持本地化运营管理,10GW以下项目可在7个工作日内完成。

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产品描述

完整的工作流程

1、废水收集及实时监控

设备产生的含硅废水通过管道输送至地下收集池,然后泵至系统原液储存区。

传输过程中,实时监测流量、pH、电导率,确保运行稳定可控。

 

2. 固液分离

螺杆泵将含硅废水从进料罐抽至压滤机进行固液分离。

浊度在50NTU以下的滤液进入净液缓冲罐,50NTU以上的滤液进入浊液缓冲罐,然后返回进料罐进行二次过滤。

一旦压滤机达到预设过滤点,自动停止,压力泵注入高压水进行隔膜压榨。

挤压后隔膜水流回过滤水箱,形成闭环系统。

 

3. 硅滤饼处理

压榨周期结束后,压滤机自动打开滤板进行手动卸载。

二氧化硅滤饼落在皮带输送机上,输送至吨袋灌装站装袋,然后用叉车搬运至指定存储区域。

 

4. 滤液混合及成品转移

滤液被送入混合系统,根据预设配方自动添加水和冷却液。

充分混合后,通过在线电导率、pH 和 Tok 测试,然后转移到成品罐中。

成品在恒压下通过后置过滤器输送至切片工序,并实时监控流量和管道压力。

 

5. 智能pH控制机制

废水收集池配备在线pH监测。

当pH值升至6.5以上时,系统自动将不合规废水转移至等效处理厂(ETP)并添加柠檬酸进行调节。

一旦pH值回落至6.5或以下,系统停止导流并恢复正常运行。


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